无基底焦平面阵列的红外成像性能分析
利用提出的光学读出非制冷红外成像系统,先后制作了单元尺寸各不相同的单层膜无基底焦平面阵列(focal plane array,FPA),获得了室温物体的热图像.分析发现,当FPA的单元尺寸从200μm逐渐减小到60μm时,基于恒温基底模型的理论响应与实验结果的偏差逐渐增大.通过有限元分析方法,模拟分析了不同尺寸的微梁单元在无基底FPA中的热学行为,发现了当单元尺寸逐渐减小时恒温基底模型偏差逐渐增大的原因,即无基底FPA的支撑框架不满足恒温基底条件,受热辐射后支撑框架的温升从基底上抬高了单元的温升.论文还分析了无基底FPA的红外成像性能.当单元尺寸为60μm时,其热探测灵敏度比传统的有基底FPA高一个数量级.
用视频显微镜实现显微干涉计量的实验研究
采用视频显微镜作为显微成像和电子记录的工具进行显策干涉计量,光路简洁,调整方便。用显微云纹干涉系统和显微散斑干涉系统分别测量了物体的面内变形、离面位移和物体的形状。实验结果表明视频显微镜可应用于各种显微干涉计量场合。
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