高耐温精密冷反光镜是应用于影像光学系统的一种常用光学元件,它具有高耐温性、反射可见光、透射红外光的特点。本文介绍了采用低膨胀系数的高耐温性基底材料,利用电子束热蒸发物理气相沉积镀膜方法及离子辅助沉积工艺,制备出了可见光光谱平均反射率高于95%、红外光光谱平均透过率高于85%,膜层耐温性能达到450℃高温下膜层无异常的反光镜产品,并实现了批量生产。

荧光滤光片是应用于生物医学和生命科学仪器的关键元件。介绍了深背詈、高截止陡度荧光滤光片的设计和镀制工艺。采用优化设计HB-βBPF膜系，提高荧光滤光片的隔离度。分析了散射对背景深度的影响，通过优化工艺参数，降低散射。研制的荧光滤光片截止陡度小于10nm（OD0．3-OD5的波长间隔），邻域背景达到OD7-OD8。

为了求得未知椭球曲面的曲线方程，模拟曲面的几何结构，以数字投影系统中椭球反光镜为例，介绍了大I：7径非球面反光镜数据采集及拟合方法。利用三坐标测量机（CMM）对椭球反光镜面型进行精密测量，根据测试数据，采用数学拟合方法获得椭球反光镜的曲线方程。并对测试模型与拟合曲面进行了光线追迹和误差分析，拟合曲面与测试曲面符合较好。因此，采用三坐标测量机进行曲面数据采集及数学方法拟合，能够得到较理想的拟合曲面方程。