介绍了新近研制的用于测量微电子机械系统(Microelectronic Mechanical System,MEMS)材料机械性能的单轴拉伸试验系统.拉伸试样的厚度只有200μm,试验段宽度为300μm,用有限元法模拟拉伸试验时试样的应力分布,分析试样几何形状参数对应力分布的影响并优化设计了试样,采用激光干涉应变计法测量试样应变,得到多晶铜试样的应力-应变曲线.