介绍了一种新型的微机械电子隧穿加速度计，利用体硅微机械加工工艺和硅／玻璃静电键合技术成功研制出了一种三明治结构的隧穿加速度计。为了有效减小低频噪声，在反馈回路里加入了振荡器和解调器。测试结果表明，目前样品的分辨率约为10^-6g/-√Hz，抗冲击能力达到50g。