碧波液压网 欢迎你,游客。 登录 注册

微机电系统技术的研究现状和展望

作者: 严宇才 张端 来源:电子工业专用设备 日期: 2024-04-17 人气:5
微机电系统技术的研究现状和展望
微机电系统(MEMS)是由微加工技术制造的微型传感器、微型执行器及集成电路组成的器件或系统。介绍了MEMS技术的研究背景和发展历程,着重阐述了微机电系统的核心技术和商业应用,其中特别提到了单芯片系统方面的前沿研究,最后就MEMS技术的前景和研究方向进行了探讨和展望。
    共1页/1条