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> 严宇才
微机电系统技术的研究现状和展望
作者:
严宇才
张端
来源:
电子工业专用设备
日期: 2024-04-17
人气:5
微机电系统(MEMS)是由微加工技术制造的微型传感器、微型执行器及集成电路组成的器件或系统。介绍了MEMS技术的研究背景和发展历程,着重阐述了微机电系统的核心技术和商业应用,其中特别提到了单芯片系统方面的前沿研究,最后就MEMS技术的前景和研究方向进行了探讨和展望。
关键词:
微机电系统
微加工技术
片上系统
加速度计
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