本文介绍了双波长激光量块干涉仪中使用的温度、湿度和气压传感器,描述了其工作原理、设计方案、测量不确定度以及校准方法。这些传感器同样可用于其他高准确度长度测量的激光干涉系统中。

本文介绍了双波长激光量块干涉仪的工作原理,详细描述了仪器的光学、机械设计以及干涉图象处理和量块中心长度自动判读技术.该干涉仪满足1等量块的测量不确定度要求,目前已用于高等级量块的自动化测量.