相移干涉法具有非接触、快速和高精度等优点，采用实验室组建的相移干涉系统进行平面度测量时，会产生280nm左右的测量误差。通过对系统误差的分析，发现由扩束器产生的波像差是测量误差的主要来源。为了校正该测量误差，采用Zemike多项式拟合波前像差，然后在平面度测量时扣除该数值拟合结果。实验结果表明，这种误差校正方法可以使λ／4平面反射镜的测量结果从误差校正前的320nm左右减小到120nm左右。