空气折射率的补偿效果在高精度激光干涉测量中起着“瓶颈”作用，分析了空气折射率的补偿原理，回顾了几种空气折射率的测量方法及特点，在此基础上，深入研究了用预抽气真空腔测量与补偿空气折射率的测量原理、方法和装置。该方法保持了干涉法测量空气折射率能充分反映所有导致折射率变化的环境因素的特点，避免了测量过程中由于抽气过程给测量带来的干扰。通过空气折射率测量及补偿实验，证实了该方法的可行性，测量结果补偿后可使精度提高一个数量级。

介绍一种以８０３１单片为核心，采用电容传感器对薄膜厚度进行动态在线测量的高精度高分辨率仪器。仪器采用反馈运算方法，使用驱动电缆技术，克服了电容传感器输出的非线性，并提高了仪器整机的抗干扰能力。测量结果在单片机系统的控制下，实时进行数显，同时将被测过程量的变化情况通过ＴＶ板变成视频信号送入视频显示器，直观反映出测量结果的变化趋势。