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> 曾凡光
155mm掠入射平场谱仪的理论研究
作者:
霍海波
曾凡光
来源:
河北大学学报(自然科学版)
日期: 2023-07-03
人气:19
介绍了一种用于测量软X线的掠入射平场谱仪,依据变栅距刻线光栅的光路函数,计算了曲率半径为5649mm的光栅各点的间距,并推导和计算了入射光源为点光源时在聚焦平面上形成的聚焦点的分布,验证了先前文献中给出的结论.进一步计算了当改变入射距离为155mim时所形成的像散,理论上验证了缩短入射距离后谱仪的可用性.
关键词:
光栅间距
像散
平场谱仪
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