8通道多层镜软x光能谱仪结构采用整体式，结合中心准直机构，保证了多层镜的角度，实现系统整体瞄准，大大简化了瞄准程序。建立了谱仪的3维模型，利用ANSYS软件完成了有限元分析。静力学分析结果表明，在重力作用下准直件的变形较大，y方向上的变形量为0．016mm，通过增加准直筒厚度可消除影响。模态分析得到了影响谱仪使用性能必须避免的噪声。分析结果为保证谱仪测量精度提供了理论依据。

在北京同步辐射装置上，利用3W1B柬线得到了21°-B4C／Si，21°-B4C／Mo，10°-Cr／Ti，15°-B4C/w，10°-B4C／W以及6．86°-B4C／w等多层镜在50～1500eV能段上的反射率标定曲线．分析了标定结果的不确定度，计算得到多层镜的积分衍射效率，并修正了标定结果．

利用神光Ⅱ上激光与等离子体相互作用得到的软X光，建立了基于多层镜的四通道软X光单色器系统。研究了光源的性能，测量了光源强度、单色器系统稳定性、相应通道的一致性。研究表明，采用多层镜作为脉冲光源的分光元件，可以得到具有较好单色性的强脉冲软X光标定源。光源的光子能量为253eV和820eV，两能道的光源强度分别为1．8×10^19photon／（scm^2）和3．2×10^19 photon／（scm^2）。在该标定源上可以实现XRD、平面镜、多层镜、透射光栅和滤片的标定。