在阐述移相干涉法测量物体三维轮廓基本原理的基础上，对测得的干涉图像进行预处理，并根据条纹扫描波面位相实时检测的数学模型对处理的图像进行计算和高通滤波后，得到了高精表面粗糙度样块的三维轮廓形貌，很好的解决了表面粗糙度三维测量的问题。