椭偏光学显微成像是近几年发展起来的一种超薄膜及表面结构显示技术，它不仅为分子生物学、生物医学（尤其是分子生物医学）及分子生物材料学等领域提供了一种新的研究手段，而且在临床疾病诊断，微电子器件及纳米材料检测等方面具有潜在的应用前景。

倾斜镜面成像系统的像面与光轴倾斜,仅利用轴向自动调焦无法实现像面整体清晰.为此提出一种基于图像清晰度判断的自动调焦方法.该方法将轴向调焦与角度调焦相结合,通过步进方式平移和旋转像接收面,利用离焦函数判断聚焦情况,采用数据拟合回归的方法实现了像面整体清晰.该方法在椭偏成像系统的应用结果验证了其有效性,调焦精度达到微米量级.