数字化气体质量流量计采用RS-485通讯方式与主控制器连接；流量计的各项功能设置以及检测用数字化的方式完成。相对于模拟接口的质量流量计而言，采用具有数字化接口的流量计组织一个应用网络更为方便，控制更为可靠。本文以Brooks SLA7850S数字质量流量计为例，介绍了有关的通讯协议以及在半导体材料生长中的应用。