随着加工技术的发展，超光滑表面粗糙度的测量变得越来越重要。讨论了一种利用光学外差法检测超光滑表面粗糙度测量系统，采用Ｚｅｅｍａｎ效应激光管得到差频光束，提出了新的优化测量光路。该光路仅使用一个半波片改变一路光束的偏振态，不仅克服了以前广泛使用的类似测量系统中光路具有可逆性的缺陷、保证了系统的稳定性，且同时使接收端光束的振态方向一致，使干涉信号可见度最大、提高了系统的信噪比和测量精度。