基于积分腔输出光谱技术（ICOS）的痕量气体分析仪具有结构简单、维护方便、响应速度快、灵敏度高、测量精确等突出优势。在介绍ICOS基本原理的基础上，介绍了仪器的性能特点和组成结构。实验显示该仪器具有小于±1％的线性误差和长时问稳定性。检测下限在1000次内部平均时达到250ppb。

针对传统流程工业中气体分析技术的一些不足，开发了激光气体分析仪系列产品，并在流程工业中获得应用，表现出明显的技术优势。介绍了可调谐半导体激光吸收光谱（TDLAS）气体分析技术的原理，以及为提高检测灵敏度所采用的调制技术和相敏检测技术，与传统在线气体分析技术进行比较，最后以催化裂化、乙烯烧焦、过程微量水、天然气中Hzs等领域的气体检测为例说明了该技术在流程工业中的应用。