像差修正拼接法测量非球面精度的评定
针对用子孔径干涉像差修正拼接法测量非球面的拼接精度问题,提出了一种基于t分布统计的拼接精度分析评定方法。根据测量原理及拼接模型特点,利用残差分析对模型进行回归诊断,使用因变量预测算法和t分布统计模型对拼接精度进行估计与分析。实验结果显示:按t分布评定拼接结果的扩展不确定度为0.3623λ(0.229μm),而常规的系统误差检验方法评定拼接结果的扩展不确定度为0.234μm,两种方法结果基本一致,表明基于t分布统计的方法在保证评定结果准确度的前提下,克服了比较分析法的不确定性,解决了正态分布统计法中置信系数k不能反映子样标准差可靠性对置信概率的影响问题。
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