压电元件在驱动微操作系统时，其输出位移要小于空载状态下的输出位移，针对众多引起压电元件输出位移减小的原因，重点分析了压电陶瓷输出位移与负载刚度之间的关系，并进行了压电陶瓷驱动弹性负载的实验。实验结果表明，压电元件的输出位移随着负载刚度的增加而减少。此结果为设计微操作系统时选用压电元件提供了理论依据。

分析了改进表面分流型二维位置敏感探测器（PSD）的工作原理及信号调理电路，针对PSD位置检测误差大的缺点，设计了利用万能工具显微镜进行标定的实验系统，运用误差理论对传感器在A区和B区的X向及Y向位置测试数据进行了校正。实验结果表明：应用这种校正方法，可减少PSD的位置检测误差，其中，A区位置检测误差可减少到±0．02mm。