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橡胶软管物理特性参数对密封性的影响及改善建议

作者: 刘春光 金凌 来源:中国科技期刊数据库 工业A 日期: 2021-08-09 人气:127
橡胶软管物理特性参数对密封性的影响及改善建议
在半导体设备中,有很多冷却水需要通过橡胶软管来输送,很多部位的橡胶软管是通过与宝塔接头配合形成循环水路。选型要求宝塔头的外径大于橡胶软管的内径,这样装配之后橡胶软管会紧紧的包裹在宝塔接头上起到密封的作用。如果两者之间的配合不符合要求,设备就会存在漏水的风险,这将对芯片生产厂家造成设备停机,影响生产。设备漏水的原因可能很复杂,存在诸多不确定因素,本文主要介绍橡胶软管物理特性参数对密封性的影响。
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