超精密磨削光学非球曲面用中心高微调机构
文章从理论上分析了中心高微调机构对光学零件加工精度的影响。设计研制了高精度的中心高微调机构，并进行了系统标定，在２ｍｍ的调整范围内能实现０．１μｍ的精确微调。该微调机构用于超精密磨削光学非球面的中心高微调。磨削结果表明，其磨削加工的零件轮廓精度为０．２μｍ，表面粗糙度为Ｒａ０．０１μｍ。
坐标测量机高精度测头技术
介绍了坐标测量机高精度测头的研究发展现状;分析了接触方式、光学方式、扫描方式测头的优缺点;研究了日本松下公司研制的高精度测头测量原理;基于原子力微探针的基本原理,设计了一种新型的坐标测量机测头;指出了采用原子力准接触技术是测头向高精度发展的方向之一.