MEMS陀螺仪是MEMS惯性测量组合单元中的重要组成部分,其精度的高低直接影响到整个组合单元的输出精度.本文介绍了MEMS音叉式振动陀螺仪的结构特点及工作机理,主要建立了其误差模型,对原理性误差进行了定性分析,给出了影响其精度的主要干扰源,并提出了误差补偿的方法.

硅微陀螺仪是微机电系统研究的一个重要内容，由于其体积小（达到微米级别），许多在传统陀螺仪中忽略掉的干扰条件要重新进行评估。其中，温度对其性能的影响很大。本文通过分析温度对梳状线振动陀螺仪的影响，推出了检测轴输出幅值和相位与温度的关系。提出一种利用输出相位作为温度补差的新方法，经温度实验验证了这种方法的可行性，此方法为提高微型梳状线振动陀螺仪的性能提供了一种新的途径。

针对三自由度转台液压系统为中压流量液压系统的特点,确定了恒压变量泵加大型蓄能器联合供油的系统配置方案;依此分析了研制过程中的特点及注意事项.该系统采用电液比例方向阀来控制液压缸的升沉及速度.为了防止液压缸因自重而下滑采用DC型平衡阀,用以保持液压的负载.从实际情况来看,研制的液压系统的性能指标满足转台运动的压力负载和流量负载要求.