分析论证了压膜阻尼应用于声表面波加速度计的可行性.利用机电模拟方法,建立完整的声表面波加速度计等效电路模型.通过对该模型进行计算机仿真分析,总结出各种压膜阻尼参数影响声表面波加速度计性能的规律,从而为声表面波加速度计的设计提供重要的理论依据.