电子显微镜是一台集多种学科于一体的现代大型、精密的高科技设备。随着使用时间的加长，故障率会不断增加。由于电子显微镜结构复杂，技术先进，给用户单位自己维修带来了很大困难，必须要有一种正确的分析方法，以便能准确而快速地判断出故障的原因。本文通过对ＪＸＡ－７３３电子探针的一个有代表性的故障分析实例来详细地介绍如何根据设备所表现出来的故障现象，使用逻辑分析方法，从设备的整体组成框图出发，通过适当的测试和逻