荧光屏位于扫描电子显微镜的取样室，一条不足2m宽的线条被扫描电子显微镜的果焦电子束激发，只朝着线条方向偏转。荧光屏的结构将线条质量降低，用特制的光学系统把降低了质量的线条的图象从扫描电子显微镜输送到调制传递函数分析仪。