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> 张新夷
LIGA技术制作微反应器的研究
作者:
刘刚
田扬超
张新夷
来源:
微细加工技术
日期: 2023-03-08
人气:7
介绍了微反应器的基本原理,根据化学反应传质和传热的需求,对反应微管道的几何形状和尺寸进行了初步设计,并利用LIGA技术制作完成了一种用于催化反应的微反应器.
关键词:
LIGA技术
微反应器
微管道
微电子机械系统
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