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LIGA技术制作微反应器的研究

作者: 刘刚 田扬超 张新夷 来源:微细加工技术 日期: 2023-03-08 人气:7
LIGA技术制作微反应器的研究
介绍了微反应器的基本原理,根据化学反应传质和传热的需求,对反应微管道的几何形状和尺寸进行了初步设计,并利用LIGA技术制作完成了一种用于催化反应的微反应器.
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