研制出一种超精加工表面粗糙度的激光测量仪，采用光外差测量原理和共光路二涉仪结构，具有很强的抗外界振动干扰能力，仪器结构简单，测量灵敏度高，纵向分辨率达０．４ｎｍ，横向分辨率达１．７２μｍ。

分析了电调频半导体激光干涉仪的长度绝对测量原理，介绍了干涉仪的基本结构。实验结果表明，该干涉仪的绝对测量范围０．３－１．５ｍ，测量误差为０．１－０．３ｍｍ。