Nomarski棱镜广泛应用于微计量检测系统,其应用特点在于将一束偏振光分解为两束振动方向彼此垂直的偏振光,从而形成干涉成像。在构成的微分干涉相衬显微镜系统中,系统相干面的位置可以通过Nomarski棱镜的结构参数来决定。本文根据相干平面与系统物镜焦面重合的准则,建立了棱镜各参数间的关系模型。在分析Nomarski棱镜各参数关系基础上,利用计算机模拟了棱镜各参数的优化设计,绘制了相应参数间的关系曲线,为棱镜的设计提供了理论依据。

建立了一种反射式近场光学显微镜中样品近场光分布特性的模型,应用矢量衍射理论,得到了系统的场方程.在弱波动条件下,采用微扰法对场方程进行了求解,能方便地得到样品表面的各阶近场光反射和透射模复振幅表达式.计算结果表明,一级场分布要比零级场小一个量级,各阶近场信号的强弱完全由面形函数的傅里叶变换决定.通过与零级结果的比较,证明了计算结果的正确性.提供了一种计算样品表面近场分布简便方法,对反射式近场光学显微镜中调制检测技术具有指导意义.