利用固体线膨胀时的长度改变引起入射到法布里一波罗干涉仪的激光光束角度发生变化的特点，设计了一种测量固体线膨胀系数的装置，并使用CCD精确测量干涉光斑发生的位移，测量了固体棒的线膨胀系数。实验结果表明该方法具有较高的可靠性和精确性，同时介绍了一种可以用于精确测量两平行平面间距的方法。