充分利用CCD技术和计算机的图像处理能力,在满足大多工业精度要求的前提下,研制成了一种低成本、大视场的CCD显微测量仪,用于光学元件的检测.当线视场为10mm时, 该系统的横向分辨率可达12.9μm,精度可达1μm,纵向分辨率可达λ/8,足以满足一般工业检测的需要.