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> 邓清
碳化硅轻型反射镜的研究进展
作者:
邓清
肖鹏
熊翔
来源:
材料导报
日期: 2022-09-04
人气:3
反射镜材料需具有低密度、高弹性模量、高热导率和低热膨胀系数。比较了不同反射镜材料的物理性能和机械性能,与传统光学材料对比,碳化硅具有优越的物理性能和热性能,被认为是轻型反射镜材料的首选。综述了碳化硅反射镜材料常用制备方法的特点。认为反应烧结法和热等静压法适用于制备SiC反射镜基体材料,化学气相沉积法适合用于基体材料增密和制备反射层,反应烧结法结合化学气相沉积工艺是制备SiC反射镜的高效低成本工艺。
关键词:
反射镜
碳化硅
研究进展
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