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图形化技术在纳米器件制造中的应用研究进展

作者: 王守绪 何为 孙睿 来源:材料导报 日期: 2022-09-04 人气:1
纳米器件包括纳米电子器件和纳米光电器件,是未来新型仪器、设备生产与制造的基础。因此,它们的设计、制造方法和技术受到了人们的广泛关注。介绍了用图形化技术实现纳米器件设计与制造的应用研究进展。
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