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> 孙睿
图形化技术在纳米器件制造中的应用研究进展
作者:
王守绪
何为
孙睿
来源:
材料导报
日期: 2022-09-04
人气:1
纳米器件包括纳米电子器件和纳米光电器件,是未来新型仪器、设备生产与制造的基础。因此,它们的设计、制造方法和技术受到了人们的广泛关注。介绍了用图形化技术实现纳米器件设计与制造的应用研究进展。
关键词:
表面图形化
纳米器件
纳米技术
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