透射电子显微镜（transmission electron microscopy,TEM）在工作状态时要求精确的合轴,电子枪作为TEM电子光学系统主要部件之一,要求电子源必须与镜筒中整个电磁透镜系统严格合轴,否则会造成到达样品的电子束流减少,引入球差等不良影响。在操作中灯丝像的对称性是判断电子枪是否合轴的重要判据。研究了TDX-200透射电子显微镜灯丝像的调节过程,给出了透射电子显微镜灯丝像的具体调节步骤,并通过课题室透射电子显微镜TDX-200进行了实际验证。

真空系统是场发射枪透射电镜的重要组成部分。按照场发射枪透射电镜对真空提出的要求，规划了真空系统的构成，设计了抽真空的流程。采用真空泵并行抽气的工作方式，缩短真空抽气时间，提高真空泵的利用率。通过隔离阀的通断实现了真空泵抽气对象的切换，通过计算机程序控制PLC实现了真空的自动抽气。通过测试，能够达到预定的真空度要求。