应用双频激光干涉仪对直线电机进给的定位精度进行了测试.在介绍双频激光干涉仪测量原理的基础上,对直线电机进给定位精度测试方法作了详细的描述.测试结果发现,直线电机进给的速度、加速度的变化对定位精度的影响不是很大.利用最小二乘法对各点定位精度平均值进行分段线性拟合,并对直线电机进给的定位精度进行补偿,可以较大地提高直线电机进给的定位精度.