提出了一种测量物体微位移的新方法.原子力显微镜作为测量工具,样品和扫描器置于待测物体上,物体每移动一定距离就由AFM扫描获得一幅样品图像,由此获得一系列连续的序列图像.采用模板匹配方法检测相邻序列图像的偏移,从而可计算出物体的微位移.实验结果表明,用该方法还可实现物体二维方向的微位移测量,且精度达到纳米量级.