作者讨论了如何用四区域法平均对椭偏仪测量数据进行处理的问题 ,通过分析认为 ,该法可以消除由起偏器、补偿器、检偏器引起的方位角误差 .并用该法规范椭偏测量角Ψ和Δ ,使Ψ∈(0°,90°)和Δ∈(0°,36 0°) ,实验所得结果与理论计算值符合得很好 .

从麦克斯韦方程组和电磁场的边界条件出发，用矢量衍射理论的模式匹配法对亚波长位相光栅的衍射进行了数值计算，在正入射的情况下，计算了反射波和透射波的场分布，并研究了光栅的结构参数（光栅深度、基底厚度、占空比等）对反射波和透射波各级衍射效率的影响。