ICP原子发射光谱仪可广泛应用于环境监测、地质、冶金、化工、农业、食品、医学等行业。高频功率源是该仪器最重要的组成部分,目前市场上销售的仪器绝大部分使用自激式高频功率源,核心是电子管,缺点是效率低、需要水冷。本论文主要讲述了它激式高频功率源(其核心是高频大功率射频晶体管)的设计及其在ICP原子发射光谱仪上的应用,其优点是效率高、功率稳定,模块化。该项目的成功完成弥补了国内在射频晶体管功率源应用于电感耦合等离子体发射光谱仪的空白。