提出一种新型的硅基M-Z干涉型光电集成加速度地震检波器。对硅基微光电机械加速度地震检波器的M-Z光波导干涉仪系统进行了系统研究和优化设计，采用K9玻璃作为基底层和包层材料，Bak7玻璃作为波导层材料，波导的宽度为4μm，厚度为0．4μm。M-Z光波导干涉仪的Y分支设计中采用上升反正弦S型弯曲。为适用于该干涉仪的信号臂和参考臂大跨距的特殊结构，应用波导转向镜实现了大角度光路转折，反射转向镜的内介质采用镀制金属铝膜得以实现，并利用BPM进行了仿真。为了防止TE模偏振光的偏振态经铝膜全反射后发生变化，加了1个长度为1mm的TE模偏振器以保持其偏振态。实验结果与理论相符。