主要介绍了微尺度热科学最新研究成果及其在MEMS中的应用.微电子机械系统(MEMS)的高速发展为微尺度物理现象及其内在机理的研究提供了机遇和挑战.微尺度热科学是微尺度物理学的一个重要分支,包括微尺度传热学、微尺度动力学和微尺度热测量学等.一般来说,微尺度热现象的尺度效应可以归结为热流密度大和热惯性小这两个特点,在MEMS器件中有广泛的应用.尽管近年来微尺度热科学取得了快速的发展,但仍处于不断发展的阶段;完整的理论体系还没有建立;微尺度下成熟的实验方法还在摸索中,实验数据处在原始积累阶段;大规模计算条件的实现和分子水平的数值模拟方法为问题的解决提供了另一条途径.