新型Nano-CMM二维定位平台研究
介绍了一种新型纳米三坐标测量机二维定位平台的结构设计;平台设计了无爬行的磁浮-滑动复合导轨;引入了“共平面“的导向模式,实现近零阿贝误差;并对二维定位平台力平衡和系统热效应作了优化设计。计算和实验结果表明,平台能有效解决低速驱动时的爬行问题,实现微小步距进给,满足微纳米级定位平台的要求。
新型Nano-CMM二维定位平台“共平面”结构研究
介绍了一种新型纳米三坐标测量机二维定位平台的结构设计。打破了传统二维定位平台堆栈的结构形式,引入了“共平面”的导向模式。经理论研究计算,能实现近零阿贝误差,满足微纳米级定位平台的要求。
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