利用二元光学技术制成二元光学元件，它可以制作 有特殊功能高衍效率的光学元件，本文介绍了这种技术的基本原理，制作工艺和流程以及近年来研究的几种有应用前景的二元光学元件。

根据菲涅耳衍射理论,采用微光学元件制作技术,通过三次套刻制作出八位相台阶的二元离轴菲涅耳透镜.这种微型光学元件同时具有色散分光和聚焦功能,用来作为分光元件时,具有较高的光谱分辨本领和衍射效率.实验测出其衍射效率大于68%.