将中科院合肥智能所机器人传感器实验室的多维力传感器技术与TI公司新推出的MSC1210单片机相结合，可实现机器人对微小位移的高分辨率检测。首先简要介绍微位移传感器结构特点，然后结合实际使用情况较为详细地说明MSC1210的多路输入复用器、PGA、滤波器等新特性，在此基础上构建微位移检测的硬件平台。同时，为传感系统设计智能人机交互接口，帮助用户根据实际需要方便选择诸如采样率、滤波器型号等相关参数，以求达到满意的应用效果。

微位移测量已经广泛应用于精密测量领域中,实现微位移测量最关键的环节在于精确的定位和精细的运动.文章设计了一种基于应变方式进行二维微位移(纳米级)测量的系统,详细阐述了该系统主要组成部分:微位移检测传感器、处理电路及相关系统软件.实验结果表明该系统可以满足二维微(纳米级)测量的要求.