最近研制与改进的几台CQG-Ⅱ车间数字干涉仪除应用于平面及球面的面形测量、获得面形误差PV、RMS或N、△N外，还可以广泛地应用于下列几种特殊的应用：（1）微型光学件的检测；借助α60mm-α15mm放大系统可能测量α1mm平面；（2）光学平行平面的透过波面畸变检测；（3）棱镜角度及面形检测；（4）非球面检测；低陡度非球面、二次曲面及非球面准直系统；（5）衍射光检测；（6）镜头的调制传递函数（MTF）的检测；（7）金属表面（模具）或镀反射膜光学件的检测，仪器的口径为60mm，平面精度为λ/20，球面精度为λ/10，λ=632.8nm。对以上的应用均列举了生产实际应用或科研应用的实例。