对于厚度为１０－１００μｍ的薄膜，传统测厚方法是将薄膜从生产线上切下一条，然后送实验室用光学仪器测量，这种方法的缺点是测量时间长、速度慢。本文介绍一种以８０９８单片机为核心的β射线薄膜测厚仪，精度高、速度快，能满足膜生产线高精度在线实时测厚的要求。