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大口径高次、离轴非球面干涉测量中投影畸变的标定方法

作者: 李锐钢 郑立功 薛栋林 张学军 来源:光学精密工程 日期: 2023-04-30 人气:31
大口径高次、离轴非球面干涉测量中投影畸变的标定方法
提出了运用干涉仪的Fiducial功能确定干涉仪CCD的测量坐标系与非球面镜面坐标系的对应关系,然后对两者关系进行正交化拟合,从而标定出非球面干涉检验中的投影畸变,并用于某高次、离轴非球面进行干涉检验中的投影畸变标定,拟合精度为1.96453μm。根据标定结果对干涉测量面形图重构,进行了数控抛光实验,最终面形精度达到均方根值λ/20(λ-0.6328μm),证明拟合精度完全满足数控抛光的要求。
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