介绍计算机断层扫描(CT)的成像基本原理和设备基本组成,并用微焦点工业CT系统分析大功率微波器件阴极的内部微细结构以及它与支撑筒的焊接情况,结果证明微焦点工业CT系统在大功率微波器件阴极检测中有着良好的应用前景.