活性屏等离子体源渗氮技术是一种先进的渗氮技术，消除了常规直流等离子体渗氮技术的固有缺陷，且可处理聚合物材料及表面附着氧化皮的金属材料。本文介绍了活性屏等离子体源渗氮技术传质机理的研究进展，在改性低合金钢、不锈钢、工具钢、聚合物材料以及抗菌功能材料等方面的最新结果，评述了活性屏等离子体源渗氮技术存在的问题和发展趋势。