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三维MEMS加速度计的性能测试方法与分析

作者: 徐夏  马游春  翟成瑞  熊继军 来源:微计算机信息 日期: 2022-09-24 人气:14
三维MEMS加速度计的性能测试方法与分析
文章针对一种三维MEMS加速度计.提出了三维加速度计的测试方法.并根据测试结果对此加速度计进行了性能分析。通过对其设计原理和内部结构的描述.指出该型MEMS加速度计的结构优点及性能特点。针对该加速度计,作者设计了测试装置.制作了测试电路.并在文章中详细描述了测试原理及整个测试过程。分别在三个方向上,对此三维MEMS加速度计进行了多次对比测试.同时采集包括标准加速度计输出和MEMS加速度计三向输出在内的四路信号。以便进行冲击方向上两加速度计的横向对比和三向MEMS加速度计的轴间耦合分析。测试结果表明,此测试方法和装置是可靠有效的,且具有一定的通用性可用于其它类似传感器的测试分析中。
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