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微机电系统中凸台_弹性膜结构的力学建模与仿真

作者: 覃元臻 丁天怀 王鹏 来源:清华大学学报(自然科学版) 日期: 2023-08-08 人气:9
微机电系统中凸台_弹性膜结构的力学建模与仿真
为了测试和评定微构件的力学特性,建立了凸台-弹性膜结构的力学模型.将凸台-弹性膜结构化简为中心带有凸台的无限长薄板条结构,利用板壳理论得出了凸台的弹性模量、厚度和横截面积对弹性膜表面应力分布影响的解析计算公式,并通过有限元分析对计算结果进行仿真验证.理论分析和仿真结果吻合.凸台-弹性膜复合结构的等效弯曲刚度与凸台的弹性模量和厚度有关,当凸台的弹性模量和厚度增加时,凸台-弹性膜复合结构的等效弯曲刚度增大,可以通过增加凸台的弹性模量和厚度来提高凸台-弹性膜结构的强度.该研究为凸台-弹性膜结构的优化设计和应用提供了计算方法和设计依据.
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