以一个电容式微加速度计为设计实例来介绍了基于IP库MEMS设计的流程,其中主要包括四个部分：原理分析,结构设计,工艺流程和版图设计,封装及电路测试。首先根据需求设计出加速度计的基本结构;然后对该结构进行工艺流程和版图的设计;并利用虚拟工艺来进行仿真和可加工性验证;得到的三维结构通过接口导出到FEM中进行数值分析;接着将数值分析的结果进行基于FEM的运动学建模;求解得到的运动规律,以宏模型的形式存入IP库中;与此同时,利用虚拟运行进行可视化行为级的仿真。

微硅电容式加速度计是目前微硅加速度传感器发展的主流，本文在硅一玻璃阳极键合工艺同深槽刻蚀工艺相结合的加工技术基础之上设计了一种电容式微加速度计，该结构将两种改变平行板电容量的方式有效的结合在一起，提高了结构的灵敏度并具有较好的线性度．最后，对所设计的结构进行了工艺仿真，通过虚拟工艺仿真结果与设计进行比较，论证了结构的基本可行性．