ＣＡＤ／ＣＡＥ技术在ＭＥＭＳ研究过程中具有非常重要的作用。本文首先介绍了用于ＭＥＭＳ的ＣＡＤ／ＣＡＥ技术特点，然后研究了ＭＥＭＳ ＣＡＤ／ＣＡＥ系统结构，给出了软件支持工具结构框图，指明了解决其中关键技术的途径。ＣＡＤ／ＣＡＥ技术的应用，将提高微型机电系统的设计质量，缩短研制周期，使之及早走向工业化。