利用压电材料具有正逆压电效应的特性，设计制作了压电式自感知微驱动器，同时实现了在一个器件中传感与驱动两种功能。通过Matlab软件仿真和实验，对该方法的正确性和可行性进行了验证，结果显示该方法可行，效果良好。

设计一种以压电陶瓷为驱动,通过柔性机构放大输出位移的精密定位工作台。给出了该精密定位工作台的结构模型,建立了精密定位工作台的位置输入输出方程,分析和计算了柔性铰链微位移放大机构的位移放大倍数。通过仿真确定工作台各自由度的变形量与压电陶瓷驱动器伸缩量之间的关系与运动特性。结果表明,该精密定位工作台能实现定位误差为0.1μm的高精度定位。通过与3点支撑微位移放大机构工作台的比较,显示出4点支撑微位移放大机构工作台可减小交叉耦合的影响。

提出一种应用于压电叠堆的微位移放大机构，该机构以压电叠堆为驱动元件，通过基于杠杆原理的柔性铰链二级放大机构，放大压电叠堆的输出位移，在互相垂直的三个自由度方向上通过磁性部件连接，实现三自由度方向上独立的位移输出。同时，通过仿真和试验，对其静态特性和动态特性进行研究。试验测试结果表明：该机构对压电叠堆输出位移的放大倍数达到5倍，三个自由度方向上的位移互相没有影响，并且该机构具有线性良好、高分辨率和高频响应等特点。